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真空爐的真空度測量

2021-03-24  瀏覽：1499次

　　真空測（cè）量是真空技術中（zhōng）的（de）一個重要組成部分（fèn）。用於（yú）測（cè）量真空度（dù）的儀器稱為真空計。  真空（kōng）熱處（chù）理爐及真空（kōng）熔煉爐常（cháng）用的真（zhēn）空（kōng）計有：熱偶真（zhēn）空計電離真空計等。它們的工作（zuò）原理如下：

　　（一）熱偶真空計（jì）

　　熱偶真空計由（yóu）敏感元件、熱（rè）偶規管和測量儀器（qì）組成。熱偶規管與被測真空係統相通，外殼為玻（bō）璃管，管內有加熱絲和熱偶絲（sī）。熱偶絲的冷端和熱端溫度不（bú）同時，由於溫差效（xiào）應，在回路中有熱電勢（shì）產生。如加熱絲（sī）電壓保持恒定，則熱偶絲　　的電勢限決於加熱絲的溫度，而加熱絲的溫度與被測氣體（tǐ）的（de）壓強有關。壓強低，氣體熱導率小，被氣體帶走的熱量少，加熱絲溫度升（shēng）高，熱偶絲的熱電勢增大；反之，則熱電勢減少。回路中的熱電勢用毫伏表測量，表中的毫伏數（shù）即反映出真空

　　度的（de）高（gāo）低。為了保證加熱絲（sī）的電壓穩定，而接入了穩壓電源。所以（yǐ）測量儀器是由測量熱電勢的毫伏表和（hé）規管加熱絲穩壓電源兩部分組成。

　　（二（èr））電離真空計

　　這（zhè）種真空計主要用於測量高（gāo）真空度。在低壓強氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數與氣體壓強成正比按照離產生的方（fāng）法不同，利用熱陰極發射電（diàn）子使氣體電離的真空計叫（jiào）熱陰極電離真空計；其（qí）中（zhōng），熱（rè）陰極電（diàn）離真空計由熱陰極規（guī）管和測量儀器組成。測量儀器（qì）由規（guī）管工作電源、發射電流穩壓器、離子（zǐ）流測量放大器等部分組成。熱陰（yīn）極電離規（guī）管與被（bèi）測（cè）真空係統（tǒng）相通。熱（rè）陰極電離規管是一個三極管，管內有陰極、柵及和收集極。收（shōu）集極電位相對於陰極（jí）電負電位；柵極相對於陰極電正電位。當電離規管通電加熱後，陰極發射電子，在電子（zǐ）到達柵（shān）極的過程中，與氣體分子碰撞而產（chǎn）生正離子和電子的電離現（xiàn）象。當發射電（diàn）流一定時，正離子數日（rì）與被（bèi）測氣體壓強成正比。正（zhèng）離子被收集極收集後，經測量電路放大，可由批示電表讀出所要測量的真空度。

　　（三）複合真（zhēn）空計

　　通常，對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成，而應采用複（fù）合真空計，應用較多的是電離與熱偶式複合真空計。它的測量範圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空（kōng）計測量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真（zhēn）空；電（diàn）離真空計（jì）測量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。複合真空計附有一（yī）個（gè）熱偶規管、一個電離規管，分別接在真空係統上（shàng），通（tōng）過旋鈕可分別給兩（liǎng）個規管加熱，並選擇使用。


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